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岛津UV-VIS-NIR分光光度计

简要描述：适用于光学、半导体及FPD应用—岛津UV-VIS-NIR分光光度计

是一款*的高灵敏度分光光度计，可进行深紫外区检测，具备大样品室，可满足光学、半导体及FPD在以下方面的检测需求。
FPD：
材料评估中NIR和大样品的高灵敏度测定。
半导体：
短波长激光和12英寸晶片整体表面的深紫外区测定。
光通信：
减反射膜NIR高灵敏度测定。
光学：
从DUV到NIR再到大样品的高灵敏度分析。

厂商性质：代理商
更新时间：2022-11-11
访问量：2213

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详细介绍

光学组件需要对透光率及反射率进行立博官方网站度测定。SolidSpec-3700/37000DUV拥有三个检测器，覆盖的范围从紫外区到近红外区。通过使用InGaAs和冷却型PbS检测器提高近红外区的灵敏度。从而得到从紫外区到近红外区立博官方网站度和高灵敏度光谱。

传统的分光光度计使用一个光电倍增管对紫外和可见区域进行检测。但所有检测器在检测器转换范围内灵敏度较低，因此在此范围检测时无法实现高灵敏度测定。 SolidSpec-3700/3700DUV通过使用InGaAs检测器可在转换领域内进行高灵敏度检测。

高灵敏度检测

InGaAs检测器和PbS 检测器测定锐截止滤光片透过率的谱图如下图所示：SolidSpec-3700/3700DUV从850至1600nm范围内实现了低噪音水平，与传统的分光光度计相比，1300至1600nm范围内，噪声减少了四分之一。

SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透过率小于1%的前提下，噪声水平小于0.1%。此波长范围的高灵敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成为检测低反射样品的强有力工具，如在光传输中使用的防反射涂层及薄膜。

1500nm处的噪声为世界*水平，小于0.00005Abs（狭缝宽度8nm，RMS），删除使用直接受光单元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs（狭缝宽度2nm，RMS）

随着以ArF激发激光为代表的使用深紫外激光的立博官方网站度激光仪器的发展，提高了对光学材料深紫外区透过率和反射率的测定要求。

SolidSpec-3700DUV使用积分球时可在175nm-2600nm的范围测定，而使用选配件直接受光单元DDU-DUV时可在165nm-3300nm的范围测定。

使用此附件，可实现从深紫外区到近红外区宽范围的测定。

空气中的氧分子会吸收190nm以下的深紫外光，需要使用氮气吹扫光室和样品室以除去氧分子的干扰。SolidSpec-3700DUV各单元都设有吹扫入口，可进行充分的氮气吹扫，以实现深紫外区的高灵敏度和低杂散光。

为进行深紫外区的测定，检测器的窗口和积分球内壁均使用不吸收深紫外光的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT检测器使用特制熔融石英作为窗口材料，积分球内壁使用深紫外区具有高反射性能的特殊树脂。

深紫外区高灵敏度和低杂散光测定

深紫外区的立博官方网站度测定要求充足光通量和低杂散光。
右图是使用直接受光单元DDU-DUV（选配）测定石英板的透过率光谱。
在紫外区域可得到超低噪声的光谱。

SolidSpec-3700/3700DUV配有大样品室，可使大样品进行无损检测。其内部尺寸为900W x 700D x 350H。
可测定的zui大样品尺寸700W x 560D x 40H mm。样品尺寸为12英寸或310 x 310 mm的样品可用自动X-Y样品台（选配）
使用X-Y样品台的大样品室

使用X-Y样品台测定12英寸硅片